研究了一种高频高压脉冲电源,利用交直流叠加技术,产生高频高压快速上升沿的交流脉冲,满足产生低温等离子体的需求。电源主要由交流电源、直流电源和交直流耦合电路(包括反应器)组成。实验结果表明,交直流叠加电源能够产生良好的低温等离子体。
发布日期:2020-04-15浏览次数: 次信息来源: 电力电子技术
研究了一种高频高压脉冲电源,利用交直流叠加技术,产生高频高压快速上升沿的交流脉冲,满足产生低温等离子体的需求。电源主要由交流电源、直流电源和交直流耦合电路(包括反应器)组成。实验结果表明,交直流叠加电源能够产生良好的低温等离子体。